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压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列.pdf

    本发明公开了一种压电微机械超声换能器及压电微机械超声换能器阵列。压电微机械超声换能器包括：衬底结构、多层薄膜谐振结构和声屏障结构，衬底结构内具有谐振腔，多层薄膜谐振结构和声屏障结构间隔设置在衬底结构上，多层薄膜谐振结构沿一三维坐标系的z轴方向设置在谐振腔的上方并完全覆盖谐振腔，声屏障结构包括多个声子晶体单元，多个声子晶体单元按照方形结构排布在多层薄膜谐振结构的周围。本发明将声子晶体单元和PMUT相结合，声子晶体单元对一定频率的声波具有消声效果，能将声信号阻断在声子晶体单元形成的声屏障结构内，通过

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118080304A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410430649.0

    (22)申请日2024.04.10

    (71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿

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