【《三氯氢硅合成工艺的设计计算》2400字】 .docxVIP

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三氯氢硅合成工艺的设计计算

三氯氢硅合成工艺的设计计算 1

4.1三氯氢硅合成工艺参数 1

(1)气体工作压力[13] 1

(2)工作温度 1

4.2传热面积的计算 2

4.3催化剂用量的计算 2

4.4传热管数的计算 2

4.5管子排列方式，管间距的计算 2

4.6壳体直径的计算 3

式中：a=40mm 3

4.7合成工艺壳体厚度的计算 3

4.8合成工艺封头的计算 4

[o]t=190Mpa 4

4.9封头与壳体的连接形式

自由职业者。

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