GB50467-2008:微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdfVIP

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GB50467-2008:微电子生产设备安装工程施工及验收规范.pdf

UDC

中华人民共和国国家标准

PGB50467一2008

微电子生产设备安装工程

施工及验收规范

CodeforconstructionandaccePtanceofmicro一electronics

manufacturingequipmentinstallationengineering

2008一12一15发布2009一07一01实施

中华人民共和国住房和城乡建设部

联合发布

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

中华人民共和国国家标准

微电子生产设备安装工程

施工及验收规范

Codeforconstructionandacceptanceofmicro一electronics

manufactur

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