薄膜光学试题答案.pdfVIP

一．选择题：

1．真空蒸发镀膜按其工作原理，可以分为那几种方法（多选题）：ABD

．溅射镀膜．热蒸发镀膜．电子束蒸发镀膜．离子镀

ABCD

2．溅射和热蒸发的根本区别在于，热蒸发是借助于C发生蒸发的，而溅射

是通过获得A蒸发的。

A．动量转换B．电能转换C．焦耳热D．热电子轰击

如图，面蒸发源位于球迷夹具的球心，基片和膜厚之比

3.12

为：B

1

A．sinB．cosD．C．tan

cos

图1

4.只能监控薄膜厚度为四分之一波长或其整数倍的控制方法有：AD

．极值控制法．石英晶体控制法．单波长监控法．波长调制法

ABCD

二．简答：

如图简述机械泵的工作原理，如何提高其工作效率？

1.2

答：当转子顺时针转动时，空气由被抽容器通过进气管被

吸入，旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩

大，而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时，另

一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开，并将气体压

缩，直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出

泵外，转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。

可以通过提高机械泵的体积或提高转速来提高效率。

如图简述有油扩散泵的工作原理。

2.3

答：真空泵油经电炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸图2

汽导流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压

强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方向运动的高

速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子的能力。油分

子与气体分子碰撞，由于油分子的分子量大，碰撞的结

果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来，而气体分

子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去．并且，在射

流的界面内，气体分子不可能长期滞留，因而界面内气

体分子浓度较小．由于这个浓度差，使被抽气体分得以

源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口，并被前

级泵抽走．慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水

冷的泵壁，油分子就被冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器

继续循环使用．冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。图3

3.简述电子束蒸发的原理。

答：金属在高温状态下，它内部的一部分电子获得足够的能量，逸出金属表面，

这就是所谓热电子发射。如果加上一定的电场，则发射的电子在电场中将向阳极

运动，电场电压越大，电子的运动速度就越快。这样就可以形成高速运动的电子

流，在电磁场中聚成细束，轰击被镀材料的表面，由于动能转变成热能，使材料

迅速升温而蒸发。

4.简述极值控制法监控薄膜厚度的基本原理，为什么此方法只能控制四分之一

波长整数倍厚度的膜？

i

tte1

答：膜层的振幅投射系数为：E12

t2i

1rre1

12

nt2t2

于是投射率为：T2