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2024电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范.docxVIP

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  • 2024-06-12 发布于湖南
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2024电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范.docx

    文档标题电子工厂特种气体和化学品配送设施通用规范主要内容该规范适用于电子工厂新建扩建和改建的特种气体和化学品配送设施的设计施工与验收运行与维护废弃与拆除工程主要强调了如何确保作业的安全环境保护和社会管理的要求摘要本规范旨在指导电子工厂的新建扩建和改建的特种气体和化学品配送设施的设计施工与验收运行与维护废弃与拆除工作，以保证其安全环保和符合社会管理的要求

    PAGE13

    电子工厂特种气体和化学品配送

    设施规范

    目次

    TOC\o1-2\h\z\u199301总则 1

    17712基本规定 2

    109563特种气体配送设施设计 4

    134003.1特种气体站房 4

    259853.2特种气体工艺及管道系统 4

    122833.3特种气体监控与安全系统 5

    91974化学品配送设施设计 7

    79134.1化学品站房 7

    303824.2化学品供应与回收系统 7

    280624.3化学品监控与安全系统 8

    176055配套设施设计 9

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