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A
A
附录A
(资料性)
典型硅产品工艺流程图示意
A.1工业硅
以工业硅的典型工艺流程为例,见图B.1.
图A.1工业硅典型工艺流程图
A.2多晶硅
以多晶硅的典型工艺流程为例,见图B.2。
13
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图A.2多晶硅典型工艺流程图
A.3单晶硅
以单晶硅的典型工艺流程为例,见图B.3。
图A.3单晶硅典型工艺流程图
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B
C
附录B
(资料性)
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