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iS-MM-VOCs-4气体传感器用户手册用户手册产品说明书使用说明文档安装使用手册
iS-MM-VOCs-4气体传感器
产品说明书
VOCs
产品概述封装外形
iS-MM-VOCs-4是基于MEMS微热盘技术的微型金属氧化物
半导体气体传感器，用于检测空气中的有机可挥发物（VOCs）。
传感器的生产结合了MEMS硅衬底技术、薄膜技术、厚膜技术、
陶瓷封装技术，专利配方的纳米骨架气体敏感层沉积于微热盘和
叉指电极的顶部，从而产生了依赖于有害气体浓度的电导率。
该
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