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传感器技术及应用5应变式传感器5.1应变式变换原理5.2金属应变片5.3应变片的动态响应特性5.4应变片的温度误差及其补偿5.5电桥原理5.6典型的应变式传感器传感器技术及应用—几种典型的模拟式传感器(四)主讲教师:郭占社副教授北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院5.1应变式变换原理金属丝的灵敏系数应变仪5.2金属应变片应变片电阻值绝缘电阻灵敏系数机械滞后允许电流应变极限零漂和蠕变结构及应变效应横向效应及横向灵敏度电阻应变片的种类电阻应变片的材科应变片的主要参数温漂和蠕变,原因?机械滞后?各种类型应变片的制作方法及优缺点(制作工艺原理)实际工程中,应变片高频特性较差,高频检测传感器例如谐振式,一般会用压电片来实现,各有优缺点,压电片低频不行5.3.2金属应变片结构及应变效应横向效应及横向灵敏度电阻应变片的种类电阻应变片的材科应变片的主要参数应变片电阻值绝缘电阻灵敏系数机械滞后允许电流应变极限零漂和蠕变金属丝式应变片金属箔式应变片半导体应变片薄膜式应变片敏感栅材料应变片基底材料引线材料各种类型应变片的制作方法及优缺点5.2金属应变片结构及应变效应横向效应及横向灵敏度如何减小横向效应?按出厂情况使用针对实用,重新标定短接圆弧段使用应变片的灵敏系数讨论:与的关系?敏感栅材料应变片基底材料引线材料(金属丝与薄膜的区别)5.3.2金属应变片结构及应变效应横向效应及横向灵敏度电阻应变片的种类电阻应变片的材科应变片的主要参数应变片电阻值绝缘电阻灵敏系数机械滞后允许电流应变极限零漂和蠕变金属丝式应变片金属箔式应变片半导体应变片薄膜式应变片各种类型应变片的制作方法及优缺点(制作工艺原理)5.2金属应变片金属丝式应变片金属箔式应变片半导体应变片光刻、腐蚀工艺相结合薄膜式应变片三中制作方式的区别与基底结合第一种好5.3应变片的动态响应特性应变波的传播过程应变片工作频率范围的估算自学5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差产生的原因电阻的热效应试件与应变丝的材料线膨胀系数不一致p130的图5.4.1不一致问题,可自行推导,合适才能近似?本书为什么能近似本推导有没有问题?5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差产生的原因电阻的热效应试件与应变丝的材料线膨胀系数不一致5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差产生的原因电阻的热效应试件与应变丝的材料线膨胀系数不一致5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差的补偿方法合理选择应变片和使用构件合理使用电桥自补偿法线路补偿法5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差的补偿方法自补偿法线路补偿法合理选择应变片和使用构件合理使用电桥5.4应变片的温度误差及其补偿温度误差的补偿方法自补偿法线路补偿法合理选择应变片和使用构件合理使用电桥热敏电阻补偿法5.3应变式传感器5.3.1应变式变换原理5.3.2金属应变片5.3.3应变片的动态响应特性5.3.4应变片的温度误差及其补偿5.3.5电桥原理5.3.6典型的应变式传感器5.5电桥原理电桥的平衡电桥的不平衡输出电桥的非线性误差5.5电桥原理电桥的平衡5.5电桥原理电桥的平衡电桥的不平衡输出引入5.5电桥原理电桥的平衡电桥的不平衡输出(最大灵敏度讨论)利用提高灵敏度的措施?5.5电桥原理电桥的平衡电桥的不平衡输出电桥的非线性误差非线性误差?5.5电桥原理电桥的平衡电桥的不平衡输出电桥的非线性误差金属应变片半导体应变片5.5电桥原理减少电桥的非线性误差的措施差动电桥采用恒流源供电电桥差动电桥双臂受感电桥四臂受感电桥半差动全差动5.5电桥原理减少电桥的非线性误差的措施(差动)考虑双臂受感的常用情况四臂受感电桥双臂受感电桥四臂受感情况思考:双臂与四臂差动电桥应用情况的比较5.5电桥原理减少电桥的非线性误差的措施(恒流源)单臂受感情况非线性误差?恒流源供电电桥仍然有比较大的非线性误差!四臂受感情况5.5电桥原理附:电桥转换电路中的温度温差单臂受感情况单臂受感电桥评论:温度影响体现在分子、分母上5.5电桥原理附:电桥转换电路中的温度温差四臂受感情况四臂受感电桥评论:温度影响体现在分母上5.5电桥原理附:电桥转换电路中的温度温差单臂受感情况单臂受感电桥四臂受感情况四臂受感电桥评论:四臂受感电桥大大减小了温度误差!5.5电桥原理附:电桥转换电路中的温度温差AB四臂受感情况(恒流源供电)附加值:温度的测量四臂受感电桥(恒流源)评论:四臂受感恒流源供电电桥最常用!5.6典型的应变式传感器应变式力传感器应变式加速度传感器应变式压力传感器应变式位移传感器应变式转矩传感器5.6典型的应变式传感器应变式力传
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