GB_T 43798-2024 平板显示阵列用正性光阻材料测试方法.pdf

ICS31.030

CCSL90

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

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2024-03-15发布

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围……………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4测试条件…………………2

4.1环境条件………………2

4.2试剂材料……………2

4.3其他配套……………2

5测试项目……………………2

5.1胶膜云纹…………………………2

5.2曝光量……………………4

5.3曝光测试观察图形完整性……………6

5.4关键尺寸(CD)…………………………6

5.5残膜率………………7

5.6固含量………………8

5.7液体颗粒计数…………………………9

5.8粘度……………10

5.9相对密度……………11

5.10水分质量分数………………………11

5.11金属杂质含量………………………11

6试验报告………………………13

I

前言

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。

本文件起草单位：京东方科技集团股份有限公司、上海彤程电子材料有限公司，中国电子技术标准

化研究院、阜阳欣奕华材料科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、福建泓光半导体材料有限

公司。

本文件主要起草人：杨澜、程龙、吴怡然、赵俊莎、曹可慰、李琳、吴京玮、岳爽、李璐、戈烨铭、何珂、

曾成财、袁晓雷。

Ⅲ

平板显示阵列用正性光阻材料

测试方法

1范围

本文件描述了平板显示阵列用正性光阻材料的测试方法。

本文件适用于液晶显示器件、有机发光显示器件等显示阵列制造用正性光阻材料的性能测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于

本文件。