集成电路失效定位技术现状和发展趋势.pptxVIP

集成电路失效定位技术现状和发展趋势汇报人：2024-01-212023REPORTING

引言集成电路失效定位技术基础集成电路失效定位技术现状集成电路失效定位技术发展趋势集成电路失效定位技术应用案例面临的挑战与未来发展策略目录CATALOGUE2023

PART01引言2023REPORTING

集成电路失效定位技术的重要性随着集成电路规模的扩大和复杂性的增加，失效定位技术对于提高芯片良率和可靠性具有重要意义。失效定位技术的挑战由于集成电路的高度集成化和微小化，失效定位技术面临着定位精度、效率和成本等多方面的挑战。背景与意义

国外在集成电路失效定位技术方面起步较早，已经形成了较为完善的理论体系和技术路线，包括基于电子束、激光、X射线等物理效应的失效定位技术，以及基于机器学习、深度学习等人工智能技术的失效预测和定位方法。国外研究现状国内在集成电路失效定位技术方面的研究相对较晚，但近年来发展迅速。目前，国内已经形成了基于光学、电子学、热学等原理的失效定位技术体系，并在实际应用中取得了显著成果。同时，国内也在积极探索基于大数据、云计算等新一代信息技术的失效分析和预测方法。国内研究现状国内外研究现状

PART02集成电路失效定位技术基础2023REPORTING

失效定义集成电路失效是指芯片在正常工作条件下，由于设计、制造、封装或使用过程中的缺陷，导致电路功能异常或性能下降的现象。失效类型包括开路、短路、参数漂移、时序违规等多种类型，可能由静电放电、过电应力、热载流子效应等因素引起。失效影响集成电路失效可能导致系统性能下降、功能失效，甚至引发安全问题，对电子产品可靠性和稳定性造成严重影响。集成电路失效概述

123通过建立适当的故障模型，如固定型故障、桥接故障等，模拟集成电路失效行为，为失效定位提供理论支持。故障模型利用自动测试设备对集成电路进行测试，通过施加输入信号并观测输出响应，判断电路是否存在失效。测试原理根据测试结果，采用相应的算法和工具对失效进行定位，确定失效发生的具体位置。定位方法失效定位技术原理

边界扫描利用边界扫描技术对集成电路进行测试，通过对芯片边界上的寄存器进行读写操作，实现对内部电路状态的观测和控制，进而定位失效。逻辑诊断通过对集成电路输入输出逻辑关系的分析，推断出失效的大致位置。故障模拟利用电路仿真工具对集成电路进行故障模拟，观察特定故障条件下的电路行为，以定位失效。微观分析采用显微技术、X射线分析等手段对集成电路进行微观结构观察，以找出可能的失效原因。常用失效定位方法

PART03集成电路失效定位技术现状2023REPORTING

漏电流检测漏电流异常通常意味着集成电路存在缺陷或损伤，因此通过检测漏电流可以定位失效位置。电阻抗成像利用电阻抗成像技术，可以无损地检测集成电路内部的电阻分布，从而定位失效位置。I-V特性曲线测试通过测量集成电路的电流-电压（I-V）特性曲线，可以判断器件的电学性能是否正常，从而定位失效位置。基于电学特性的失效定位技术

03红外热像仪利用红外热像仪检测集成电路表面的温度分布，可以定位过热或热异常区域，从而判断失效位置。01X射线检测利用X射线对集成电路进行透视成像，可以检测芯片内部的物理缺陷和异常。02超声波检测通过超声波在集成电路中的传播特性，可以检测芯片内部的裂纹、空洞等物理缺陷。基于物理特性的失效定位技术

化学分析通过对集成电路表面或断面进行化学分析，可以检测材料成分、污染物等化学异常。离子色谱利用离子色谱技术，可以检测集成电路表面的离子种类和浓度，从而判断是否存在化学腐蚀或污染。气相色谱-质谱联用结合气相色谱和质谱技术，可以对集成电路释放的气体进行分析，从而定位化学异常区域。基于化学特性的失效定位技术

各类方法优缺点比较01电学特性方法具有测试速度快、精度高的优点，但难以定位物理和化学缺陷；02物理特性方法可以直接观察芯片内部情况，但通常需要破坏芯片且成本较高；化学特性方法可以检测化学异常，但测试过程相对复杂且耗时较长。03

PART04集成电路失效定位技术发展趋势2023REPORTING

光电融合失效定位技术结合光学和电子技术，通过对集成电路的光电特性进行分析，实现高精度、非接触的失效定位。基于仿生学的失效定位技术借鉴生物感知和定位机制，发展出具有高灵敏度、高选择性的仿生失效定位技术。基于机器学习的失效定位技术利用大数据和机器学习算法对集成电路的失效模式进行学习和预测，提高失效定位的准确性和效率。新兴失效定位技术介绍

智能化失效定位算法开发自适应、自学习的智能化失效定位算法，提高失效定位的自动化程度。自动化测试设备研发高精度、高效率的自动化测试设备，实现集成电路失效定位的自动化和批量化。智能传感器网络构建智能传感器网络，实时监测集成电路的状态和参数，为失效定位提供数据支持