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铸造单晶硅材料性能评价技术规范

目 次

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范围 1

规范性引用文件 1

术语和定义 1

技术要求 1

外观质量 1

电学性能 1

间隙氧含量和代位碳含量 1

位错缺陷 2

单晶面积比例 2

检验方法 2

外观质量的检验 2

电学性能的检验 2

间隙氧含量和代位碳含量的检验 2

位错缺陷的检验 2

单晶面积比例的检验 2

检验规则 2

检查和验收 2

组批 2

检验项目 2

取样规则 2

结果判定 3

I

铸造单晶硅材料性能评价技术规范

范围

本文件规定了铸造单晶硅材料的术语和定义、技术要求、检验方法、检验规则。本文件适用于铸造单晶硅锭开方后的硅块的性能评价。

规范