2023年化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案.docx

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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案

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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案

目录

TOC\o1-9序言 4

一、产品规划 4

(一)、产品规划 4

(二)、建设规模 5

二、化合物半导体的外延生长设备项目建设地方案 7

(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址原则 7

(二)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 8

(三)、建设条件分析 8

(四)、用地控制指标 9

(五)、用地总体要求 10

(六)、节约用地措施 10

(七)、总图布置方案 11

(八)、运输组成 12

(九)、选址综合评价 14

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