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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案
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化合物半导体的外延生长设备相关项目运行指导方案
目录
TOC\o1-9序言 4
一、产品规划 4
(一)、产品规划 4
(二)、建设规模 5
二、化合物半导体的外延生长设备项目建设地方案 7
(一)、化合物半导体的外延生长设备项目选址原则 7
(二)、化合物半导体的外延生长设备项目选址 8
(三)、建设条件分析 8
(四)、用地控制指标 9
(五)、用地总体要求 10
(六)、节约用地措施 10
(七)、总图布置方案 11
(八)、运输组成 12
(九)、选址综合评价 14
三
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