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激光加工的关键技术

第二章激光加工的关键技术

在以往的生产加工过程中,经常会遇到下面这样的难题:(1)零件的形状既小又复杂,即便是用最小的刀具也无法进行理想的加工。(2)为了加工出微型的零件,不得不用很小的铣刀、钻头等刀具,但刀具的寿命非常短,或者很容易断裂,很难保证零件的精度和一致性。(3)使用电加工的方式来加工一些小型的复杂零件,但所需使用的电极数量太多,准备电极所需的时间大大加长了生产周期,并且生产成本很高。激光加工可以很好的解决这些加工难题。而且生产周期短，生产成本低。

目前使用的激光加工工艺方法主要包括：切割、焊接、快速成型、打孔、打标、雕刻、划线、表面处理等等。

这一章将主要论述激光加工及激光加工的关键技术——激光加工系统和激光加工技术。

第一节激光加工

一、激光加工的概念和特点

激光加工是指激光束作用于物体的表面而引起物体形状的改变，或物体性能改变的加工过程。是利用激烈的局部加热融化和气化材料产生“自由电子的迅速释放，然后与金属的离子结构相互作用引起局部激烈声振子和声子”，结果产生了具有宽顶带辐射的“羽状烟柱”强烈的热效应。按光与物质相互作用机理，大体可将激光加工分为激光热加工和光化学反应加工两类。激光热加工系指激光束作用于物体所引起的快速热效应的各种加工过程；激光光化学反应加工系指激光束作用于物体，借助高密度高能量光子引发或控制光化学反应的各种加工过程，也称为冷加工。热加工和冷加工均可对金属材料和非金属材料进行切割、打孔、刻槽、标记等。热加工对金属材料进行焊接、表面强化、切割均极有利；冷加工则对光化学沉积、激光刻蚀、掺杂和氧化很合适。

激光热加工的光源主要采用红外激光器，如CO2激光器、CO激光器和Nd：YAG激光器。

激光光化学反应加工的光源主要采用紫外激光器，如准分子激光器。

激光加工与其它方法比较，有如下的一些优越性；

以金属的导热性对材料的加热影响很大。根据热传导理论可以计算激光照射下被加工材料表面的温度和内部的温度分布。知道温度场分布对判断能进行什么加工提供依据。例如进行焊接必须达到材料的熔化温度，而打孔、切割一般必须达到汽化(沸点)温度。长脉冲或连续激光正入射时，光点中央的温度值T与被吸收的光功率、导热系数、表面吸收率之间的关系为：

式中，A为表面吸收率，P为被表面吸收的光功率，r0为光斑半径，k为导热系数。

在一个脉冲作用时间内，材料通过单位面积吸收，使深度为h的材料温度升高到汽化所需的能量(未考虑传导、辐射等损耗)为

式中，T0是起始温度，Tm是熔化温度，TB是沸点温度，Cs是固体的比热．Cp是液体的比热，Lm和Lr分别是熔解热和汽化热，ρ是材料密度，h是孔的深度。

三、激光加工系统

激光加工系统主要包括激光发生器（简称激光器）、数控工作台（加工机床）和导光系统（光束传输、聚集装置）、控制系统及检测系统。此外，还有冷水机组、气体（包括激光工作气体和切割、焊接用辅助气体）供应（包括净化）站以及计算机辅助设计及编程等配套设备。图是激光加工系统的示意图。

激光加工系统示意图激光加工时，是将光束与物体表面作相对运动。既可以是光束运动，也可以是工件运动，也可以是光束和工件同时运动。在运动中，要求光斑尺寸可调、功率或能量可调、以达到各种加工的目的。有时还要求光束与工件表面成法线方向。

激光加工系统示意图

1、激光器

激光器是整个加工系统的核心。对激光器的共同要求是稳定、可靠，只有长期稳定运行的激光器才能承担加工任务．同时，针对不同加工任务，对激光器还提出了一些要求．例如，对于切割和焊接而言，要求激光器构模式为低阶模或基模；有时要求激光器为连续运行，有时又要求脉冲运行，为此激光器必须具备连续运行和脉冲运行的能力；激光器的功率和能量既要求稳定，同时根据加工的不同要求，对输出功率和能量、脉宽等参数进行精密调节。

当前用于激光加工的激光器主要有三类：CO2激光器、Nd:YAG激光器和准分子（KrF、ArF）激光器。

（1）CO2激光器

CO2激光器结构示意图CO2分子激光器是目前实际应用中最重要的激光器，其发展极为迅速，应用最为广泛。自1964年问世以来，封离型、流动型、气动型、大气压型、横向激励型、波导列阵型等各种形式的CO2激光器相继出现，并已使其中的大部分器件实现系列化和商品化。激光功率在500W～20KW(甚至更高功率)的电激励CO2激光器近年来发展迅速，技术日趋成熟，它既可连续工作又可脉冲工作，在材料加工工业中得到广泛的应用。

CO2激光器结构示意图

CO2激光器中通常充以CO2、N2、和He的混合气体，激光振荡发生在CO2的两个振动能级间，N2和He是辅助气体，它们改善了激光作用的效率。

密封式CO2激光器一般都有水冷套，且放电管长度和孔径一般都较大。工作气体混合比例对