GBT34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf

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G86GB

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中华人民

和国国家标准

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GB/T34972-2017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感稠合等离子体质谱法

Determinationofmetalcontentingases-

Inductivelycoupledplasmamassspectrometrymethod

2017-11-01发布2018-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T34972-2017

目IJ~

本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口。

本标准起草单位：上海市计量测试技术研究院、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东

华特气体股份有限公司、北京华宇同方化工科技开发有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱

色谱分析技术有限公司、中吴光明化工研究设计院有限公司。

本标准主要起草人：陈鹰、姜阳、周鹏云、牛艳东、傅铸红、杜汉盛、江罗、许军洲、方华、常侠。

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GB/T34972-2017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感榻合等离子体质谱法

1范圄

本标准规定了应用电感搞合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法。金属元

素测定范围见表1。

本标准适用的电子工业用气体种类：氧、氮、氢、氮、氢、氨、氯化氢、硅：皖、高纯氯、六氟化硫、三氯化

棚、兰氟化氮、氧化亚氮、六氟乙皖、六氟丁二烯等气体。

本标准适用的电子工业用气体取样状态：气态。

表1金属元素测定范围

元素测定范围／（µg/L)元素测定范围／（µg/L)

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

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