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多晶硅磁控溅射靶材项目可行性评估方案
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多晶硅磁控溅射靶材项目可行性评估方案
目录
TOC\h\z3041概论 3
29403一、多晶硅磁控溅射靶材项目建设内容 3
5307(一)、建筑工程 3
19935(二)、电气、自动控制系统 5
7323(三)、通用及专用设备选择 6
32416(四)、公共工程 8
30677二、多晶硅磁控溅射靶材项目选址 9
20637(一)、多晶硅磁控溅射靶材项目选址原则 9
21119(二)、原材料及主要辅助材料供应 10
23516(三)、交通条件 12
14248(四)、自然
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