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毕业设计说明书
年产5万吨高纯多晶硅的生产工艺设计
专业新能源材料与器件
学生姓名王瑞
班级B能材202
学号200102091009
指导教师温永春
完成日期2024年6月
盐城工学院本科生毕业设计说明书
年产5万吨高纯多晶硅的生产工艺设计
摘要：多晶硅是目前广泛应用于光伏行业和电子行业的重要半导体材料。它是由
多种不同取向的晶体硅微粒组成的多晶体结构。在制造过程中，高纯度的硅原料
经过熔炼、精炼和凝固等步骤，形成多晶硅锭。这些硅锭再通过切割、抛光等一
系列加工处理，最终制成适用于太阳能电池或集成电路的薄片。
本设计主要采用改良西门子法制备高纯多晶硅，其基本原理是将高纯度的三
氯氢硅在高温条件下通过高纯氢还原。本文主要介绍了改良西门子法生产年产5
万吨高纯多晶硅的工艺流程，以及主要设备在工艺流程图和设备平面布局图中的
选择和论证。
关键词：多晶硅、改良西门子法、生产工艺设计
I
年产5万吨高纯多晶硅的生产工艺设计
Productionprocessdesignof50，000tonsof
highpuritypolysiliconperyear
AbstractPolysiliconisanimportantsemiconductormaterialwhichiswidelyusedin
：，
photovoltaicindustryandelectronicsindustry.Itisapolycrystallinestructure
composedofmanysmallmonocrystallinesiliconparticleswithdifferentorientations.
Inthemanufacturingprocess,thehigh-puritysiliconrawmaterialismelted,refined
andsolidifiedtoformapolysiliconingot.Theseingotsarethencutandpolished
throughaseriesofprocessingprocesses,andfinallymadeintothinsheetssuitablefor
solarcellsorintegratedcircuits.
ThisdesignmainlyusestheSiemensprocesstoproducehigh-puritypolycrystalli
nesilicon,whosebasicprincipleistoreducehigh-puritytrichlorosilaneathightempe
raturewithhigh-purityhydrogen.Thispapermainlyintroducestheproductionprocess
of50,000tonsofhigh-puritypolycrystallinesiliconperyearusingtheimprovedSie
mensprocess,aswellastheselectionandjustificationofthemainequipmentinthepr
ocessflowdiagramandequipmentlayoutdiagram.
Keywords：Polysilicon,Improv
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