GBT26249-2010 电子工业用气体 硒化氢.pdf

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中华人民共和国国家标准

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电子工业用气体硒化氢

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２０１１０１１４发布２０１１０５０１实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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前言

本标准的附录和附录为规范性附录。附录为资料性附录。

ＡＢＣ

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（／）提出。

ＳＡＣＴＣ２０３

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（／／）归口。

ＳＡＣＴＣ２０３ＳＣ１

本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、河

北保定市北方特种气体有限公司。

本标准主要起草人：周泽义、方华、庄鸿涛、李建浩、周鹏云、徐少兵。

Ⅰ

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电子工业用气体硒化氢

１范围

本标准规定了硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。

本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢

产品。它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

分子式：。

ＨＳｅ

２

相对分子质量：（按年国际相对原子质量计算）。

８０．９７５８８２００７

２规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有

的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引