薄膜测厚仪3000使用手册.docx

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薄膜測厚儀

NanoSpec3000

使用手冊

南區微奈米中心編製

儀器功能介紹

量測透亮膜或半透亮膜厚,期範圍為100~30μ

反射光譜400nm~800nm

膜厚量測資料分析

量測原理簡介

儀器設備

濾片放置

濾片放置

位置

光源開關

顯微鏡

電腦

量測平台

圖〔一〕設備圖說

操作順序

打開光源的開關

打開電腦與螢幕電源

執行桌面NanoSpec的捷徑,將可以看到以下畫面

Logon

USERID:userPASSWORD:user

選擇螢幕上所示之現有程式進行量測請跳至步驟6

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