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详解半导体器件C-V特性测试

交流C-V测试可以揭示材料的氧化层厚度，晶圆工艺的界面陷阱密度，掺杂浓

度，掺杂分布以及载流子寿命等，通常使用交流C-V测试方式来评估新工艺，

材料，器件以及电路的质量和可靠性等。比如在MOS结构中，C-V测试可以

方便的确定二氧化硅层厚度dox、衬底掺杂浓度N、氧化层中可动电荷面密度

Q1、和固定电荷面密度Qfc等参数。

C-V测试要求测试设备满足宽频率范围的需求，同时连线简单，系统易于搭建，

并具备系统补偿功能，以补偿系统寄生电容引入的误差。

进行C-V测量时，通常在电容两端施加直流偏压，同时利用一个交流信号进行

测量。一般这类测量中使用的交流信号频率在10KHz到10MHz之间。所加载

的直流偏压用作直流电压扫描，扫描过程中测试待测器件待测器件的交流电压

和电流，从而计算出不同电压下的电容值。

在CV特性测试方案中，同时集成了美国吉时利公司源表（SMU）和合作伙伴针

对CV测试设计的专用精密LCR分析仪。源表SMU可以输出正负电压，电压

输出分辨率高达500nV。同时配备的多款LCR表和CT8001直流偏置夹具，可

以覆盖100Hz~1MHz频率和正负200V电压范围内的测试范围。

方案特点：

★包含C-V（电容–电压），C-T（电容–时间），C-F（电容–频率）

等多项测试测试功能，C-V测试最多同时支持测试四条不同频率下的曲线

★测试和计算过程由软件自动执行，能够显示数据和曲线，节省时间

★提供外置直流偏压盒，最高偏压支持到正负200V，频率范围100Hz–

1MHz。

★支持使用吉时利24XX/26XX系列源表提供偏压

测试功能：

电压–电容扫描测试

频率–电容扫描测试

电容–时间扫描测试

MOS器件二氧化硅层厚度、衬底掺杂浓度等参数的计算

原始数据图形化显示和保存

MOS电容的C-V特性测试方案

系统结构：

系统主要由源表、LCR表、探针台和上位机软件组成。LCR表支持的测量频率

范围在0.1Hz~30MHz。源表(SMU)负责提供可调直流电压偏置，通过偏置夹具

盒CT8001加载在待测件上。

LCR表测试交流阻抗的方式是在HCUR端输出交流电流，在LCUR端测试电流，

同时在HPOT和LPOT端测量电压值。电压和电流通过锁相环路同步测量，可

以精确地得到两者之间的幅度和相位信息，继而可以推算出交流阻抗参数。

典型方案配置：

系统参数：

下表中参数以PCA1000LCR表和2450源表组成的C-V测试系统为例：