半导体器件设备制作工艺的制作流程..docx

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本技术属于建筑材料领域,尤其是一种半导体器件制备工艺,针对现有只是将晶粒利用包装盒进展包

装,这样的包装方式简洁导致晶粒损坏的问题,现提出如下方案,其包括

S1:首

先将成卷的碳纤维复合膜放置在支撑架上,然后进展幵卷,

S2将碳纤维复合膜放置在工

作台上,支撑台上设有导向机构,以此可以防止碳纤维复合膜消灭走偏的问题,

S3在支

撑台的一侧卡装有夹紧机构,将碳纤维复合膜的一侧放置在夹紧机构上,并由夹紧机构对碳纤维复合膜进展夹紧。本技术通过将圆晶棒经过切割、打磨、过筛、抽真空以及密封包装,以此可以实现对圆晶粒进展真空包装的目的,可有效避开圆晶粒上附着水汽,所以便不会造成圆晶粒

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