SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍.pptx

SMT设备数据采集SEMI通讯指令介绍

⽬录

1.SECS/GEM总框架介绍(2)

2.SECS-II消.息分类及功能(4)

3.SML语⾔(5)

4.HSMS介绍(7)

3.1.HSMS报⽂格式(8)

3.2.HSMS的状态(14)

3.3.HSMS的通信流程以及超时处理(15)

5.GEM标准模型介绍(18)

5.1.GEM通信状态模型(19)

5.2.GEM定义的⽣产设备能⼒(23)

5.2.1.状态参数收集(24)

5.2.2.事件报告收集(24)

5.2.3.报警管理(29)

5.2.4.远程控制(32)

6.指令集(33)

6.1.建⽴连接(33)

6.2.获取⽣产设备的状态参数(33)

6.3.报警信息(33)

6.4.在线模式(34)

6.5.离线模式(34)

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1.SECS/GEM总框架介绍

SEMI通信标准模型SECS/GEM定义了半导体⽣产设备与主机之间、各⽣产设备

之间的通信规范。其中SECS-I与HSMS处于模型的最底层，提供了半导体⽣设备通信的链路层规范，SECS-I协议是基于R232串⾏链路，HSMS是基于TCP/IP(261:SECS-II定义了半导体⽣产设备与主机之间消息的通信格式、规范与内容；GEM则定义了半导体⽣产制造过程中的通⽤情景下的交互⾏为整个标准型如图2-1所⽰，这些标准为别定义在E4、E5、E30、E37的SEMI

标准编号中

SECS-I基于串⾏链路的半导体⽣产设备点对点通信标准，定义了包括物理连

接，传输包格式，传输速率等物理层和数据链路层特性。

SECS-II，定义了半导体⽣产设备通信会话与消息的数据格式以及通信内容。

其中通信内容包括设备状态、设备控制、物料状态、物料控制、过程处理、配⽅管理、报警事件处理等。

GEM，定义了⽤户应⽤层的通⽤设备模型，该模型基于SECS-II消息，它定义

了⼀套通⽤的半导体⽣产设备⾏为、交互机制和典型的应⽤情景。

HSMS，定义了基于以太⽹TCP/IP协议的半导体⽣产设备通信标准，与SECS-I⼀样处于协议最底层，其作⽤是替代E4标

准，其主要⽤于⾼速链路的数据通信需求。

习所⽰：

每层协议所实现的功能如下图2

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由上表定义可以看出stream所定义的消息分类，例如：

1)Stream1定义的是⽣产设备相关的状态参数；2)Stream2定义了对⽣产设备的控制与诊断，远程控制及报告的定义：

3)Stream5定义了⽣产设备报警的相关内容；4)Stream6定义了数据的收集，包括⽣产设备产⽣任何事件时所发送的报告信息；

5)Stream7定义了⽣产设备程序的管理；

6)Stream9则定义了错误信息处理。

Function则定义的是某⼀种Stream中的活动，例如：

1)S1F3是主机要求获取⽣产设备的状态参数；

2.SECS-II消·息分类及功能

SECS-II定义了传输消息的报⽂格式和表⽰内容，叫做StreamFunction报⽂格式。所有的消息都⽤SxFy表⽰，其中x为Stream数字值，y为Function数字值。SECS-II协议中以Stream来区分不同信息的种类，再以Function来区分同⼀种信息下的不同活动的含义。

下表2-1列出了SECS-II的信息分类以及活动，关于所有定义的Stream以及Function详情，请见SEMIE5标准。表2-1部分消息分类以及活动定义

2)S1F4则是由⽣产设备把状态参数返回给主机；

3)S1F17是主机要求⽣产设备ONLINE；

4)S1F18则是返回ONLINE的结果。

SECS-II的消息SxFy报⽂通常成对出现，分别称为PrimaryMessage和SecondaryMessage，其中PrimaryMessage的Function为奇数，为发送端发出的消息，SecondaryMessage的Function为偶数，是作为PrimaryMessage的返回消息进⾏发送。secondaryMessage的Stream与PrimaryMessage的Stream相同，⽽Function为PrimaryMessage的Function数值加1。

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