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半导体材料与器件教学实验平台建设需求.docxVIP

半导体材料与器件教学实验平台建设需求.docx

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    半导体材料与器件教学实验平台建设需求

    一、内容及清单

    序号

    设备名称

    数量

    单位

    1

    高频光电导少子寿命测试仪

    4

    套

    2

    变温霍尔效应测试系统

    4

    套

    3

    微纳电子教学实验箱

    4

    套

    4

    导电类型鉴别仪

    4

    台

    5

    激光定向仪

    4

    台

    6

    四探针测试仪

    4

    台

    7

    单波长激光椭偏仪

    4

    台

    8

    ALD-PECVD管式炉

    1

    套

    9

    实验室超纯水机

    1

    套

    10

    光刻机

    1

    台

    11

    电子束测试仪

    10

    台

    12

    环盘电极

    4

    套

    13

    鼓风干燥箱

    2

    套

    14

    真空烘箱

    1

    套

    15

    液体表面张力系数测定仪

    24

    台

    16

    变温粘滞系数测量实验仪

    12

    台

    17

    温度传感器温度特性测量实验仪

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