调谐式微机电陀螺.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1710383A

(43)申请公布日2005.12.21

(21)申请号CN200510040595.4

(22)申请日2005.06.17

(71)申请人东南大学

地址210096江苏省南京市四牌楼2号

(72)发明人王寿荣苏岩裘安萍周百令刘梅许宜申

(74)专利代理机构南京经纬专利商标代理有限公司

代理人陆志斌

(51)Int.CI

G01C19/02

G01P9/02

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

调谐式微机电陀螺

(57)摘要

本发明公开了一种涉及测量技术的

调谐式微机电陀螺，包括电机，在电机驱

动轴上设有陀螺转子/平衡环，在陀螺转子/

平衡环的上方与下方分别设有电容上、下

极板且由固定圆环固定，在固定圆环上设

有用于引导电容上、下极板的输出信号的

导线环。本发明针对谐振式微机电陀螺和

动力调谐陀螺的不足，提高了微机电陀螺

仪的精度和稳定性且具有体积小、重量

轻、成本低、功耗小、可靠性好调谐式微

机电陀螺。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种涉及测量技术的调谐式微机电陀螺，包括电机(31)，其特征在于在电机驱

动轴(39)上设有陀螺转子/平衡环(35)，在陀螺转子/平衡环(35)的上方与下方分别设

有电容上、下极板(33、36)且由固定圆环(34)固定，在固定圆环(34)上设有用于引导

电容上、下极板的输出信号的导线环(32)。

2、根据权利要求1所述的调谐式微机电陀螺，其特征在于陀螺转子/平衡环(35)由

内环(41)、中环(43)和外环(45)组成，内环(41)与驱动电机驱动轴固连，中环(43)是

平衡环，外环(45)是转子体，内环与平衡环之间通过一对内扭杆(42A、42B)相连，

平衡环与转子体之间通过一对外扭杆(44A、44B)连接。

3、根据权利要求1或2所述的调谐式微机电陀螺，其特征在于在陀螺转子/平衡环

(35)上方设有用于防止转子与电容极板相碰的挡板(37)并由紧固螺钉(38)固紧。

4、根据权利要求1所述的调谐式微机电陀螺，其特征在于，所说的电容极板包括

检测电容极板和力矩反馈电容极板，它们呈扇状，同心分布在绝缘基板上，该基板

用陶瓷材料，玻璃材料或其他绝缘材料制作，与基座相固连，并对称分布于转子/

平衡环两侧。

说明书

技术领域

本发明涉及一种陀螺，尤其涉及一种调谐式微机电陀螺。

背景技术

微机电陀螺是利用微机电系统(MEMS)技术制作的一类陀螺，具有体积小、重量轻、

成本低、功耗小、可靠性好等一系列优点，在军民两方面都具有广泛的应用前景。

微机电陀螺仪自上世纪80年代中后期发明以来，受到世界各发达国家的广泛重视，

纷纷投巨资加以研究。现今的微机电陀螺仪大多采用谐振式，其结构主要是由活动

的质量块附加振动驱动装置及加速度检测装置组成。沿某一轴向(x轴)振动的质量

块敏感基座沿另一轴向(y轴)的角速度，会产生沿第三轴方向(z轴)(三轴互相垂直)

的哥氏加速度，通过检测该哥氏加速度的大小即可求得基座角速度，该类陀螺仪存

在两个有用模态，即驱动模态和检测模态。在该类陀螺仪的设计中，为了得到较高

的灵敏度，需要使陀螺仪工作于谐振状态，并使其检测模态和驱动模态接近。从而

带来了稳定性差、线路复杂、线性度低、精度低等问题。目前研制的微机电陀螺大

多应用于中低精度的场合。

动力调谐陀螺仪是上世纪60年代发展起来的一种机电陀螺仪。一种典型的动力调

谐陀螺仪结构。驱动电机通过驱动轴，挠性接头带动陀螺转子高速旋转。挠性接头

的结构能保证陀螺仪在敏感垂直于驱动轴向的角速度时，陀螺转子相对于壳体产生

角偏转信号，该信号通过信号器检测，并