【英/法语版】国际标准 IEC 60050-523:2018 EN-FR International Electrotechnical Vocabulary (IEV) - Part 523: Micro-electromechanical devices 国际电工术语(IEV) - 第523部分:微机电机械装置.pdf

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IEC60050-523:2018en-fr标准是关于国际电气技术词汇（IEV）的第523部分，特别针对微机电系统（MEMS）设备。它提供了有关MEMS设备的术语和定义，以便在电气和电子工程领域中实现更广泛和准确的交流。IEC60050系列标准是一组国际标准，旨在促进电气工程领域的标准化和术语统一。该标准主要涵盖了各种微小机械部件和系统的描述、分类、测试和验证等方面的术语。

具体到MEMS设备，该标准提供了以下详细解释：

*“MEMS设备”是指由微米或纳米级尺寸的机械部件组成的小型设备，这些部件通常集成到一块微型芯片上，用于执行特定的功能。

*“微机械部件”是指小于毫米尺寸的机械部件，如传感器、执行器、结构件等，它们通常由硅或其他材料制成，并通过微加工技术制造而成。

*“微系统集成”是指将多个MEMS部件和电子部件集成到一块微型芯片上，以制造出具有特定功能的小型设备，如医疗诊断仪器、环境监测设备、微型机器人等。

*“微加工技术”是指用于制造微机械部件和微系统集成的一种制造技术，它包括光刻、蚀刻、薄膜沉积等过程，可以在硅片上制造出微小的结构。

*“传感功能”是指MEMS部件能够检测周围环境中的物理量（如压力、温度、光、电磁场等），并将这些量转化为可用的电信号。

*“执行功能”是指MEMS部件能够接收电信号并产生机械运动，以执行特定的功能，如驱动阀门、控制马达等。

该标准还对其他相关术语进行了定义和解释，如“微系统”、“系统集成”、“传感器网络”等。这些术语在电气和电子工程领域中具有广泛的应用，有助于促进该领域的交流和标准化。