半导体物理-侯艳芳 课件 绪论 物理基础.pptx

;课程简介;参考书目：;1.半导体物质的出现过程;20世纪初，量子理论的发现使人们能够更加深入和比较正确地描述晶体内部微观粒子的运动过程，如爱因斯坦

（A.Enstein）引入量子化概念研究晶格振动；在特鲁得和洛伦兹的金属自由电子论的基础上，索末菲(A.Aommerfeld)发展了固体理论，为研究晶体中电子运动过程指出了方向

20世纪30年代，建立固体电子态理论（能带论）和晶格动力学，固体的能带论提出了导电的微观机理，指出了导体与绝缘体的区别，找到了半导体物质

20世纪四十年代末五十年代初，以硅、锗为代表的半导体单晶出现并制成了晶体三极管;2.半导体学科发展;半导体材料发展是半导体和电子工业发展基础;3.物质结构;非晶体：

无序

无固定熔点;·单晶体：长程有序

晶体特征：

*规则的多面体

*晶体的解理性：沿一定的晶

面劈裂

*晶面间夹角守恒：相同结构晶

体晶面或晶棱夹角恒定

*各向异性;——晶体的晶面组合成晶带晶面的交线是晶棱

相互平行

——方向OO’为晶带的带轴

——重要的带轴称为晶轴;多晶体：由许多单晶体组

成，无各向异性特点;4.晶体结构;·BCC结构体心立方;·FCC;·金刚石（diamond）

和闪锌矿（zincblende)结构;Zincblendestructure;·六方结构hcp;5.晶体结构的表征;晶体结构参数;晶体结构的表征;晶体结构的研究方法

倒易空间:为建立晶体X射线和电子衍射得到的斑点和晶体结构（晶面）的对应关系

倒易空间中的点与正格空间中的一个晶面族相对应

倒格子：Kh(r)=h1b1+h2b2+h3b3, b1、b2和b3为原胞单元边长矢量

正倒空间关系：

ai.bj=2πδijΩΩ*＝(2π)3，Ω*＝b1.[b2×b3]

Rl(r)·Kh(r)=2nπ,n为整数

正格子和倒格子的线度关系除2π因子外，互为倒数，正格子线度的量纲为【米】，倒格子为【米】－1;利用倒易点阵的概念可以比较方便地导出晶体几何学中各种重要关系式；

利用倒易点阵可以方便而形象地表示晶体的衍射几何学。例如：单晶的电子衍射图相当于一个二维倒易点阵平面的投影，每一个衍射斑点与一个倒易阵点对应。因此，倒易点阵已经成为晶体衍射工作中不可缺少的分析工具。

倒易矢量也可以理解为波矢k，通常用波矢来描述电子在晶体中??运动状态或晶体的振动状态。

由倒易点阵基矢所张的空间称为倒易空间，可理解为状态空间（k空间）。正格子所组成的空间是位置空间或称为坐标空间;倒易空间的由来;7.晶体结构缺陷:;线缺陷：位错;晶体缺陷的TEM像：位错;面缺陷

反相结构（反位，反相畴界）晶界

其它缺陷

夹杂

沉淀第二相;8.常见的半导体材料;常见的半导体材料;9.量子化概念;10.量子统计概念;量子统计概念与规律;11.半导体材料的制备;1947年12月16日：威廉·邵克雷(WilliamShockley)、约翰·巴顿(JohnBardeen)

和沃特·布拉顿(WalterBrattain)成功地在贝尔实验室制造出第一个晶体管。

1950年：威廉·邵克雷开发出双极晶体管(BipolarJunctionTransistor)，这是现在通行的标准的晶体管。

1953年：第一个采用晶体管的商业化设备投入市场，即助听器。

1954年10月18日：第一台晶体管收音机RegencyTR1投入市场，仅包含4

只锗晶体管。

1961年4月25日：第一个集成电路专利被授予罗伯特·诺伊斯(RobertNoyce)。最初的晶体管对收音机和电话而言已经足够，但是新的电子设备要求规格更小的晶体管，即集成电路。

1965年：摩尔定律诞生。当时，戈登·摩尔(GordonMoore)预测，未来一个芯片上的晶体管数量大约每年翻一倍(10年后修正为每两年)，摩尔定律在ElectronicsMagazine杂志一篇文章中公布。;1968年7月：罗伯特·诺伊斯和戈登·摩尔从仙童(Fairchild)半导体公司辞职，创立了一个新的企业，即英特尔公司，英文名Intel为“集成电子设备(integratedelectronics)”的缩写。

1969年：英特尔成功开发出第一个PMOS硅栅晶体管技术。这些晶体管继续使用传统的二氧化硅栅介质，但是引入了新的多晶硅栅电极。

1971年：英特尔发布了其第一个微处理器4004。4004规格为1/8英寸x1/16

英寸，包含仅2000多个晶体管，采用英特尔10微米PMOS技术生产。

1978年：英特尔标志性地把英特尔8088微处理器销售给IBM新的个人电脑事业部，武装了IBM新产品IBMPC的中枢大脑。16位8088处理器含有2.9万个晶体管，运行频率为5MHz、8MHz和10MHz。8088