- 1、本文档共19页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
Wuxi
WuxiCSMC-HJSemiconductorCo.,Ltd.
无锡华晶上华半导体
WuxiCSMC-HJSemiconductorCo.,Ltd.
WuxiCSMC-HJSemiconductorCo.,Ltd.
无锡华晶上华半导体
PreparedbyPCM
Prepared
by
PCM
2/19
PreparedbyPCM
Prepared
by
PCM
1/19
PCM测试原理及方法简介
PCM即ProcessControlMonitor(工艺掌握监控)的缩写。从名称上我们可以看出PCM测试的根本作用即通过电参数对工艺掌握起到监控作用,同时它也是反映产品质量的一种手段。PCM作为一个技术支持部门,主要把线上一些工艺特别进展准时的反映出来,在产品入库前对其进展最终一道质量的检验,其作用归纳起来,有如下几点:
对产品进展参数质量检验;
通过PCM测试,猎取线上特别信息;
为线上的工艺试验提取参数信息;
进展客户反响产品失效缘由分析;
数据统计分析工作;
PCM测试在划片槽内有特地的测试图形,它们是与芯片内的图形同时完成的,因此它可以有效而准确的反映工艺状况。但是由于图形本身与电路中管芯并不完全一样,实际状况可能比PCM图形简单。因此圆片在PCM测试完成以后还需要进展中测即成品率测试以反映芯片的功能。在这里我们只就PCM参数测试从以下四方面进展简要介绍。
一.PCM测试原理及测试系统二.PCM常见参数测试方法三.PCM常见参数描述
一.PCM测试原理及测试系统
简洁的说PCM测试就是在被测器件上施加的肯定大小和方向的电流或电压,然后监控被测器件的电压或电流状况来反映被测器件的电学特性来到达监控工艺状况和产品质量的目的。这一过程是通过一套完整的测试系统来完成的。
PCM测试系统包括掌握终端,测试仪,测试头,开关矩阵,探针台和HP-IBCABLE
构成。系统(以HP4062为例)连线如以下图所示:
SWC
SWC
ControlCable
(SwitchingMatrixController)
HP-IBCable
CMUCable
SMS
CMU
(SwitchingMatrixSubsystem)
HP-IBCable
DCS
AUXCable
(DCSubsystem)
HP-IBControlledWaferProber
HP-IBCable
HostComputer
HP9000
Series300Computer
HP-IBCable
Wafer
测试过程:
计算机掌握终端依据我们的要求发出指令〔测试程序〕掌握测试仪和探针台进展动作〔例
如施加电压〕。测试仪中的SMU单元〔SourceMonitorUnit,在DCS中〕将电压通过AUXCable加至测试头上的开关矩阵〔SWM〕,开关矩阵再通过探针的接触将电压加到了被测器件上,SMU单元再依据程序的要求量出所需要的结果〔例如电流值〕,并将这一结果返回计算机内保存,也可以显示在计算机屏幕上。以此类推,假设我们要测量电容,则是掌握测试仪中CMU〔电容仪〕进展测量。
二.PCM常见参数测试方法
目前PCM测试的主要参数项包括:
开启电压〔NXSTRW/PXSTRW〕
击穿电压〔NXSTRW/PXSTRW〕
导通电流〔NXSTRW/PXSTRW〕
单管漏电流〔NXSTRW/PXSTRW〕
方块电阻〔NPLUS/PPLUS/TUBS/PGT/M1LSVDP/M2LSVDP〕
接触电阻〔NPLUS/PPLUS/PGT/GT〕
条形电阻〔RESNW/RESPW/RESGT〕
电容及电容击穿〔CAPNP/CAPPC/TDDB〕
同时为了满足不同工艺试验要求,我们还会测试一些特别的参数,例如:
COMB漏电测试〔ALLIN3BL/ALLIN3BR〕
M1/M2Ratio〔ALLIN3BL/ALLIN3BR〕
有效沟长 〔NXSTRW2/PXSTRW2〕
MOSTransistor
开启电压:简洁的来说“开启”就是在栅上加电压使硅外表反型,然后在漏上加肯定电压,使源漏之间有电流通过的过程。我们通常用的方法是最大跨导法。测试时在漏上固定一个电压,扫描栅上电压,找到最大跨导〔栅电压的变化对应漏源电流的变化〕点。沿最大跨导点做一漏电流曲线的切线,切线与栅电压的交点为Vintercept,Vth=Vintercept-1/2Vd。如以下图所示:
Ids
Vg-Ids曲线
Vintercept Vg
图1
在线性区:Ids=β[(Vgs-Vth)Vds–Vds^2/2
您可能关注的文档
- PCB设计指南:安规、布局布线、EMC、热设计、工艺.docx
- PCB设计模拟题答案.docx
- PCB设计步骤及常见问题-Read.docx
- PCB课设报告心电信号发生器电路板的设计.docx
- PCB镀锡抗蚀不良异常改善报告.docx
- PCB阻抗测试研究.docx
- PCB项目分析报告(参考范文).docx
- PCB项目可行性研究报告(参考范文).docx
- PCcamera功能使用说明.docx
- PCCP技术交底(钢筒).docx
- 浙江省临海市白云高级中学2025届高三历史3月月考试题.doc
- 云南拾谷县第一中学2024_2025学年高二物理上学期10月月考试题.doc
- 2025版高考生物总复习第13讲基因的分离定律教案苏教版.doc
- 湖北省黄石实验高中2024_2025学年高一历史下学期期末考试模拟卷.doc
- 通史版2025版高考历史大一轮复习专题七近代化的曲折发展__中日甲午战争至五四运动前4第4讲从维新思想到新文化运动课后达标检测含解析新人教版.doc
- 2024年高考数学考试大纲解读专题04导数及其应用含解析文.doc
- 河南省许汝平九校联盟2024_2025学年高一语文上学期期末考试试题扫描版无答案.doc
- 江西省吉安市吉水县第二中学2024_2025学年高一历史上学期第二次月考试题.doc
- 北京市平谷区2025届高三政治一模考试试题含解析.doc
- 2025届中考物理第四讲物态变化专项复习测试无答案新人教版.docx
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色,本人已有7年专业领域工作经验,可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作,欢迎大家咨询~
文档评论(0)