PECVD制备薄膜介绍.docx

PECVD

一般说来,承受PECVD技术制备薄膜材料时,薄膜的生长主要包含以下三个根本过程:

首先,在非平衡等离子体中,电子与反响气体发生初级反响,使得反响气体发生分解,形成离子和活性基团的混合物;

其二,各种活性基团向薄膜生长外表和管壁集中输运,同时发生各反响物之间的次级反响;

最终,到达生长外表的各种初级反响和次级反响产物被吸附并与外表发生反响,同时伴随有气相分子物的再放出。

热电偶工作原理

热电阻是中低温区最常用的一种温度检测器。它的主要特点是测量精度高,性能稳定。其中铂热是阻的测量准确度是最高的,它不仅广泛应用于工业测温,而且被制成标准的基准仪。

与热电偶的测温原理不同的是,热电阻