- 1、本文档共15页,其中可免费阅读5页,需付费120金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
上海科信检测科技
华星光电二次配
高纯气体管道检测方案
上海科信检测科技2023年六月二日
测试概况
设备PCVD80机台需要进展测试的管路系统为二次配系统,包含:SpecialGasSystem,特气种类包括NH3、SiH4、1%PH3/H2、NF3、PH2测试包含内容:保压、氦气检漏、氧份、颗粒、水分
BulkGasSystem,种类包括CDA、GN2;测试包含内容:吹扫、保压
BulkGasSystem,种类包括PN2、PAr、PHe;
测试包含内容:保压、颗粒、氦气检漏、氧份、颗粒、水分
测试工程及方法学1.
测试工程及方法学
1.保压测试
测试目的
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色,本人已有7年专业领域工作经验,可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作,欢迎大家咨询~
文档评论(0)