1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 汽车/机械/制造
  5. 设备维修与保养
网站大量收购独家精品文档，联系QQ：2885784924

PECVD保养作业指导书.docx

PECVD保养作业指导书.docx

    1. 1、本文档共12页，其中可免费阅读4页，需付费120金币后方可阅读剩余内容。
    2. 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
    3. 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
    4. 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
    查看更多

    金 保 利(泉州)科 技 有 限 公 司

    GOLDPOLYINTERNATIONALGROUP(QUANZHOU)SCIENCETECHNOLOGYINDUSTRYCO,LTD

    PEDCV保养作业指导书

    一、简介

    ——翁自力

    PECVD〔Piasma Enhanced Chemical Vapor Desposition〕即“等离子增加型化学气相沉积”。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很简洁发生反响，在基片上沉积出所期望的薄膜。

    装载腔反响腔冷却腔装载腔A-Viton真空密封装置B-

    装载腔

    反响腔

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    写作定制、方案定制 + 关注
    官方认证
    服务提供商

    专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色，本人已有7年专业领域工作经验，可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作，欢迎大家咨询~

    咨询作者（96人已咨询） 已休息
    认证主体天津析木信息咨询有限公司
    IP属地天津
    统一社会信用代码/组织机构代码
    91120102MADGNL0R92

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >