光刻间安全操作.pptxVIP

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演讲人：

光刻间安全操作

光刻间安全概述

人员培训与资质要求

设备安全操作规程与注意事项

化学品管理与使用安全要求

辐射防护与电磁兼容性问题解决方案

应急预案制定与演练实施

contents

PART

光刻间安全概述

光刻间定义

光刻间是一种用于半导体制造中光刻工艺的专业洁净室，其主要功能是为光刻设备提供稳定的工作环境，确保光刻过程的精确性和可靠性。

光刻间功能

光刻间具备恒温、恒湿、洁净度控制等功能，以满足光刻工艺对环境的严格要求，同时光刻间还配备有专业的排风系统，以处理光刻过程中产生的有害气体。

保障人员安全

光刻间内涉及的设备、化学品等具有一定的安全风险，规

该用户很懒，什么也没介绍

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