【英语版】国际标准 IEC 62047-48:2024 EN 半导体器件-微机电机械系统器件-第48部分：使用MEMS流体器件的利用光学吸收测定溶液浓度的测试方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 48: Test method for determining solution concentration by optical absorption using MEMS fluidic device.pdf

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IEC62047-48标准是关于半导体设备中的微机电系统（MEMS）设备的一部分。这个标准详细描述了如何使用MEMS流体设备通过光学吸收来测定溶液浓度的测试方法。

具体来说，这个标准主要涵盖了以下内容：

1.IEC62047-48标准的范围：它适用于半导体设备中的MEMS流体设备，这些设备被设计用于通过光学吸收来测定溶液的浓度。

2.测试原理：通过MEMS流体设备，将溶液与特定的化学物质反应，产生光吸收效应。通过测量特定波长下的光吸收程度，可以推算出溶液的浓度。

3.测试步骤：包括准备设备、安装和校准设备、将溶液放入设备、进行光学测量、分析测量结果等步骤。

4.测试误差：标准详细描述了可能影响测试结果准确性的因素，如设备校准误差、溶液温度和浓度变化等，并给出了相应的解决方法。

5.测试报告：标准要求测试完成后，需要提供详细的测试报告，包括但不限于设备型号、校准数据、溶液类型和浓度、测试结果等。

IEC62047-48标准为通过MEMS流体设备测定溶液浓度提供了详细的测试方法和要求，有助于提高半导体设备的生产质量和可靠性。