透射电子显微镜TEM(121张课件).pptVIP

透射电子显微镜-TEM;内容;8.1TEM简介;电子显微镜发展史;透射电子显微镜

(TransmissionElectronMicroscope,TEM);为什么采用电子束而不用自然光？;1、显微镜的分辨率;自然光与电子束的波长;采用物镜的孔径角接近90度

考虑采用可见光波长极限390nm的光束照明显微镜系统，可得d≈200nm

对于TEM在100kV加速电压下，波长0.0037nm，d约为0.002nm，目前电子显微镜达不到其理论极限分辨率，最小分辨率达到0.1nm

;2、有效放大倍数;有效放大倍数;为什么采用电子束做为光源?;;EM420透射电子显微镜

（日本电子）

加速电压20KV、40KV、60KV、

80KV、100KV、120KV

晶格分辨率2.04?

点分辨率3.4?

最小电子束直径约2nm

倾转角度α=±60度

β=±30度;FEITitan80-300kVS/TEM

世界上功能最强大的商用透射电子显微镜(TEM)。已迅速成为全球顶级研究人员的首选S/TEM，从而实现了TEM及S/TEM模式下的亚埃级分辨率研究及探索。;内容;8.2透射电子显微镜结构原理;（一）电子光学系统;1.照明系统;（1）阴极;（2）阳极;（3）控制极（栅极）;(4)聚光镜;(4)聚光镜;2、成像系统;（1）物镜;（2）中间镜;（3）投影镜;成像系统;成像系统;成像系统;该像虽然含有单胞尺度的信息，但不含原子尺度的信息，称为晶格像。

一般V越高，Z越低，电子束可以穿透的样品厚度越大。

又称萃取复型，用碳膜把经过深度侵蚀试样表面的第二相粒子（如杂质）黏附下来。

5透射电子显微镜图像分析

在透镜下可观察第二相粒子形状，大小，分布及其与样品组织结构的关系。

是样品不同微区存在原子序数和厚度的差异形成的。

（1）定义：对物体表面特征进行复制的一种制样方法。

方法：机械法（手工磨制）和化学法

80KV、100KV、120KV

①表面显微组织浮雕的复型膜，只能进行形貌观察和研究，不能研究试样的成分分布和内部结构。

表示两波之间的相位差，其大小与样品的

功能：把中间镜形成的二次像及衍射谱放大到荧光屏上，成为试样最终放大图像及衍射谱。

电磁透镜的分辨本领比光学玻璃透镜提高一千倍左右，可以达到2?的水平，使观察物质纳米级微观结构成为可能。

2-1mm的粒子，将其均匀地分布在火棉胶(或碳)支持膜上，在高放大倍数下拍照???然后经光学放大(5倍左右)，找出粒子间最小间距，除以总放大倍数——点分辨率

该像虽然含有单胞尺度的信息，但不含原子尺度的信息，称为晶格像。

Cowley提出相位衬度理论的多层次方法模型，发展了高分辨电子显微象的理论与技术。

成像系统的两个基本操作是将衍射花样或图像投影到荧光屏上。

制样过程要防止污染和改变样品的性质，如机械损伤或热损伤等；

电子枪的重要性仅次于物镜。

二维晶格像（单胞尺度的像）;3、观察纪录系统;（二）真空系统;（三）操作控制系统;二、透射电子显微镜分辨率和放大倍数的测定;2、晶格分辨率的测定

利用外延生长方法制得的定向单晶薄膜作为标样，拍摄其晶格像。因位相差引起的干涉条纹，实际是晶面间距的比例像。;3、放大倍数的测定;内容;8.3透射电子显微镜样品制备;透射电子显微镜样品制备;加速电压20KV、40KV、60KV、80KV、100KV、120KV

LaB6或W灯丝

晶格分辨率2.

该像虽然含有单胞尺度的信息，但不含原子尺度的信息，称为晶格像。

平行线直线间距相等

（1）原理：通过电解液对金属样品的腐蚀，达到减薄目的

（1）原理：利用化学溶液对物质的溶解作用达到减薄样品的目的。

弱激磁的长焦距变倍透镜，0～20倍可调。

主要作用：提供获取信息，一般由荧光屏，照相机，数据显示等组成

一般V越高，Z越低，电子束可以穿透的样品厚度越大。

缺点：速度慢，减薄一个样品需十几个小时到 几十个小时。

相位衬度：由穿透样品的电子波的相位不同而产生的电子显微像，它可揭示≤1nm的样品细节，故又称高分辨像。

13晶格分辨率测定金(220),(200)晶格像

（1）原理：利用化学溶液对物质的溶解作用达到减薄样品的目的。

常用肖特基源(热阴极)

电子显微镜(ElectronMicroscope,EM)：利用电子与物质作用所产生的信息来鉴定微区域晶体结构（CrystalStructure,CS）、精细组织（FineStructure,FS）、化学成分（ChemicalComposition,CC）、化学键结（ChemicalBonding,CB）和电子分布情况（ElectronicStructure,ES）