【英语版】国际标准 ISO 20146:2019 EN Vacuum technology — Vacuum gauges — Specifications, calibration and measurement uncertainties for capacitance diaphragm gauges 真空技术 真空计 电容式隔膜真空计的规范、校准和测量不确定度.pdf

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ISO20146:2019《真空技术—真空表—电容式隔膜表的规范、校准和测量不确定度》是一份国际标准，它规定了电容式隔膜表的规范、校准和测量不确定度的要求。该标准旨在为使用电容式隔膜表的真空测量提供准确和可靠的测量结果。

电容式隔膜表是一种常见的真空测量仪器，它通过测量电容器板之间的电容变化来测量真空度。在ISO20146:2019中，规定了电容式隔膜表的设计、制造、校准和测量过程，以确保其准确性和可靠性。该标准还规定了测量不确定度的评估方法，以确保测量结果的准确性和可重复性。

具体来说，该标准包括以下内容：

1.规范了电容式隔膜表的基本要求，包括测量范围、准确度等级、测量不确定度等。

2.规定了电容式隔膜表的设计和制造要求，包括电容器板的设计、绝缘材料的选择、机械结构的稳定性等。

3.规定了电容式隔膜表的校准过程，包括选择合适的标准器、进行校准前的准备工作、进行校准操作、评估测量结果等。

4.规定了测量不确定度的评估方法，包括不确定度的来源、评估步骤、合成不确定度和扩展不确定度等。

通过遵循ISO20146:2019标准，真空测量领域的用户可以获得准确和可靠的测量结果，从而更好地了解和掌握真空环境。