【英语版】国际标准 ISO/TS 20175:2018 EN Vacuum technology — Vacuum gauges — Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement 真空技术 真空计 用于分压测量的四极杆质谱仪的特性分析.pdf

ISO/TS20175:2018EN真空技术—真空仪表—部分压力测量的四极质谱计的特征描述

四极质谱计（QuadrupoleMassSpectrometer，简称QMS）是一种用于测量气体分子质量的仪器，广泛应用于真空技术领域。ISO/TS20175:2018标准详细描述了QMS的特性和性能，包括其设计、构造、功能、校准、使用和维护等方面的内容。

QMS主要由四个主要部分组成：离子源、质量分析器、检测器和控制系统。其中，质量分析器是核心部件，负责将离子源产生的离子按照质荷比进行分离，从而实现不同分子质量的测量。该标准详细介绍了不同类型的质量分析器的工作原理和性能特点，以及如何选择和配置适合的设备。

该标准还对QMS的校准方法进行了说明，包括如何选择校准标准物质、如何进行校准操作、如何评估校准结果等。同时，标准还对QMS的使用和维护进行了规范，包括操作注意事项、设备清洁和保养、故障排除等方面。

部分压力测量是真空技术中的一个重要指标，QMS在部分压力测量方面具有较高的准确性和稳定性，因此广泛应用于真空环境监测、产品质量控制等领域。该标准为使用QMS的用户提供了详细的参考和指导，帮助他们更好地了解和掌握QMS的性能和使用方法。

ISO/TS20175:2018标准对QMS的设计、构造、功能、校准、使用和维护等方面进行了详细的描述，为真空技术领域的相关人员提供了重要的参考和指导。