(高清版)-B-T 33523.604-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第604部分：非接触（相干扫描干涉）式仪器的标称特性.pdfVIP

ICS17.040.20

CCSJ04

中华人民共和国国家标准

GB/T33523.604—2022/ISO25178-604:2013

产品几何技术规范(GPS)

表面结构区域法

第604部分：非接触(相干扫描干涉)式

仪器的标称特性

Geometricalproductspecifications(GPS)—Surfacetexture:Areal—

Part604:Nominalcharacteristicsofnon-contact(coherencescanning

interferometry)instruments

(ISO25178-604:2013,IDT)

2022-12-30发布2023-04-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T33523.604—2022/ISO25178-604:2013

目次

前言Ⅲ

引言IV

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

3.1与区域表面结构测量方法相关的术语和定义1

3.2与X,Y轴扫描系统相关的术语和定义5

3.3与光学系统有关的术语和定义7

3.4与工件光学特性有关的术语和定义8

3.5相干扫描干涉测量显微的专用术语和定义9

4影响量的描述12

4.1总则12

4.2影响量12

附录A(资料性)相干扫描干涉(CSI)显微镜的概述和组件14

附录B(资料性)相干扫描干涉工作原理17

附录C(资料性)空间分辨力24

附录D(资料性)表面形貌测量重复性评估过程示例28

附录E(资料性)与GPS矩阵模型的关系29

参考文献30

I

GB/T33523.604—2022/ISO25178-604:2013

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

GB/T33523(GPS)GB/T33523

本文件是《产品几何技术规范表面结构区域法》的第604部分。

已经发布了以下部分：

第1部分：表面结构的表示法；

第2部分：术语、定义及表面结构参数：

——第3部分：规范操作集；

——第6部分：表面结构测量方法的分类；