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2024-07-17 发布于广西
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ICS29.045

CCSH82

NXCL

宁夏材料研究学会团体标准

T/NXCL30—2024

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300mm低氧含量直拉硅单晶

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300mmlowoxygencontentsinglecrystalineCzochralskisilicon

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2024-2-6发布2024-2-6实施

宁夏材料研究学会发布

T/NXCL30—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由宁夏材料研究学会提出。

本文件由宁夏材料研究学会归口。

本文件起草单位：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、北方民族大学、杭州中欣晶圆半导体股份有

限公司、厦门大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司。

本文件主要起草人：芮阳、商润龙、王黎光、杨少林、陈亚、赵泽慧、白圆、马成、曹启刚、王忠

保、熊欢、李聪、王云峰、李长苏、顾燕滨、盛之林、黄柳青、盛旺。e

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

T/NXCL30—2024

300mm低氧含量直拉硅单晶

1范围

本文件规定了300mm低氧含量直拉硅单晶的技术要求、试验方法、检验规格以及标志、包装、

运输、贮存、质量证明书和质量承诺等方面的内容。

本文件适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为300mm的低氧含量硅单

晶。产品主要用于绝缘栅双极晶体管（IGBT）等功率器

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