【英语版】国际标准 IEC/IEEE 62659:2015 EN Nanomanufacturing - Large scale manufacturing for nanoelectronics 纳米制造-纳米电子学的规模化制造.pdf

IEC/IEEE62659:2015ENNanomanufacturing-Largescalemanufacturingfornanoelectronics是国际电工委员会（IEC）和电气与电子工程师协会（IEEE）联合发布的一份关于纳米制造的标准。该标准主要关注纳米电子制造的大规模制造过程，旨在为纳米电子制造的工艺、设备、材料、测试和验证等方面提供指导。

纳米制造是一种利用纳米级工艺和设备，将材料转化为纳米级结构的技术。它涉及到许多不同的技术和工艺，包括纳米压印、纳米蚀刻、纳米沉积、纳米组装等。该标准旨在为这些工艺提供一致的术语和定义，以确保不同制造商之间的互操作性和兼容性。

该标准还涉及到纳米电子制造的设备、材料和测试方面。它强调了大规模制造的重要性，因为纳米电子设备通常需要大量的生产才能降低成本并实现商业化。该标准还提供了关于如何选择和评估设备、材料和工艺性能的建议，以确保制造过程的可靠性和稳定性。

IEC/IEEE62659:2015ENNanomanufacturing-Largescalemanufacturingfornanoelectronics标准为纳米电子制造提供了重要的指导，以确保不同制造商之间的互操作性和兼容性，并促进纳米电子制造的大规模生产。