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2013n洁净s空调技术CC＆AC第4期
浅析半导体洁净室的洁净度维护
中国电子科技集团南京55所韩科勇
摘要半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程，分析洁净室洁净度维护系统中，日常
管理容易出现纰漏的情况，找到预防这些纰漏的原因，并在实际管理过程中去避免这些纰漏。
关键词洁净室；洁净度的维护
AnalysistheCleanlinessMaintenanceinSemiconductorCleanRoom
HanKeyong
AbstractItisaprofessionalandhugeprojectofthecleanlinessmaintenanceofhtesemiconductorclenaroom．S1ipsnad
errorsareeasilyappearedduringhtedailymanagementofhtemaintenancesystemofanalyzingclenalinessinhteclean
room．Weshallfindoutthereasonofhteseslipsanderrorsnadavoidthemistakesinactualmanagementprocess．
KeywordsClenaroom；Cleanlinessmaintennace
O引言量虽不多，但我们还是把人员净化管理作为首要控
我所现产品为半导体产品，对生产环境中制要素，所以针对性的对进出人员进行洁净室的各
的空气洁净有较高的要求，特别是在晶圆清洗工序项培训。
和光刻工序，需要在高级别洁净室环境中生产。以(1)针对新员工举行洁净室的意识培训，洁
我所9号，一房为例，该厂房共有洁净室5000多m2，净知识培训。
其中ISO5级以上洁净室2000余m2，ISO6级、(2)针对所有进出洁净室的人员进行衣着穿
ISO7级洁净室3000余m2。为确保新项目中产品戴，洁净室进出制度的培训。
的正常生产并取得较高的良品率，在结合我所原有(3)针对操作人员在洁净室操作设备，搬运
洁净室的管理经验基础之上，制定了新的洁净室管物料的专项培训。
邢办法，并在实际应用中进行了多次修改和完善，(4)针对所有人员在洁净室中的日常行为规
取得了比较好的效果。范的培训。
每项培训，都会组织相关部门，相关人员进
1人员的日常管理行培训效果的评估和考核，不仅使所有员工在意识
洁净室内的人员是洁净室室内污染的最主要来上理解：人员是洁净室室内的重要污染源，使大家
源。洁净室内几乎所有的微生物均是来自人员，因在行动上能够恪守相关的行为准则，从每一位员工、
此，尽可能减少洁净室内人员活动所引起或传播的每一个细节上去遵守洁净室的各项规章制度。譬
污染，是确保室内洁净度及降低洁净室维护费用的如：
效途径。a．所有员工必须建立一个洁净室的概念，必须
要把洁净室的各项规章制度真正落到实处，清楚地了解所有不规范的行为均有可能产生出废品，
最关键就是人员的日常管理，我所洁净室员工的数并列举出正确的洁净室行为规范及不规范行为的种
类：
韩科勇，，1967年7』j生，人学木科，高级T程师(i)规范的行为
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