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H62

中华人民共和国国家标准

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GBT39158—2020

平面显示用高纯铜旋转管靶

Highpuritycopperrotatabletubetargetforflatpaneldisplay

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

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GBT391582020

前言

本标准按照/给出的规则起草。

GBT1.1—2009

本标准由中国有色金属工业协会提出。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。

本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有

限公司、沈阳有色金属加工有限公司。

本标准主要起草人：曾浩、罗俊锋、韩知为、贺昕、董艳霞、陈明、熊晓东、曹欢欢、万小勇、林若虚、

袁海军、刘晓、张健、郭姗姗。

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GBT391582020

平面显示用高纯铜旋转管靶

1范围

本标准规定了平面显示用高纯铜旋转管靶的术语和定义、分类、技术要求、试验方法、检验规则、标

志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）内容。

本标准适用于平面显示用各种规格的4N、4N5、5N高纯铜旋转管靶产品。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T1804—2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GBT5121.27铜及铜合金化学分析方法第27部分：电感耦合等离子体原子发射光谱法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则

YS/T347铜及铜合金平均晶粒度测定方法

YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T1000—2014铜及铜合金管材超声波纵波探伤方法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

.

31

旋转管靶rotatabletubetarget

一种平板显示领域用的管状靶材。

注：主要用于电子薄膜沉积。

.

32

表面粗糙度surfaceroughness

Ra

。

加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度轮廓的平均算术偏差值Ra即在一定测量长度