【英语版】国际标准 ISO 19318:2021 EN Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of methods used for charge control and charge correction 表面化学分析 X 射线光电子能谱 报告电荷控制和电荷校正所用的方法.pdf

ISO19318:2021EN表面化学分析—X射线光电子光谱—用于电荷控制和电荷校正的方法的报告详细解释：

ISO19318:2021是一个关于表面化学分析的国际标准，特别关注X射线光电子光谱（XPS）技术。该标准详细规定了如何报告在XPS分析过程中使用的电荷控制和电荷校正的方法。

1.电荷控制：电荷控制是指在电子显微镜（如扫描电子显微镜，SEM）等电子设备中，为防止电子束损伤样品或干扰电子光谱测量而采取的措施。电荷控制的主要目的是保持样品表面的电中性，以避免影响XPS分析的准确度。

2.电荷校正：电荷校正是指对由于电荷积累或设备因素导致的电荷影响进行修正的过程。电荷积累通常是由于样品与设备之间的相互作用，如电子束轰击样品表面引起的。设备因素可能包括设备的电源波动、电子束调节等。通过电荷校正，可以消除这些因素对XPS光谱的影响，提高分析的准确性。

报告方法：在执行XPS分析时，必须详细记录所采取的电荷控制和电荷校正的方法。这包括使用的具体技术、步骤、试剂、条件和结果等。报告这些方法有助于确保其他研究人员在应用这些方法时能够获得相似的结果。这种方法的一致性对于质量控制和数据比较也非常重要。

ISO19318:2021标准强调了电荷控制和电荷校正的重要性，并提供了详细的报告方法，以确保XPS分析结果的准确性和可靠性。