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长度设定仪校准规范
1范围
本规范适用于(0~1000)mm长度设定仪(以下简称设定仪)的校准。
2引用文件
本规范引用下列文献
JJF1059-2012测量不确定度评定与表示
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。
3概述
3.1原理
设定仪是以光栅副(光栅尺和光栅头)作为测量元件,将线位移转换为光电信号,
经过电路处理后以数字形式显示位移量,并且可以简单编程的一种自动化设定仪器。
3.2结构
设定仪结构为卧式结构,由基座、移动座、固定座、外壳和输入键盘等基本构件
组成,结构示意图见图1。
1—基座;2—外壳;3—操作面板;4—移动座;5—外工作面;6—内工作面;7—固定座
图1设定仪结构示意图
3.3用途
设定仪主要用于校对手持内外径长度量具。
1
4计量特性
4.1工作面对移动座移动轴线的垂直度不大于3′。
4.2设定仪工作面的平面度不大于0.3μm。
4.3固定座两工作面平行度和移动座两工作面平行度不大于1μm。
4.4设定仪在起始参考位置时两外工作面的平行度不大于1μm。
4.5移动座沿导轨移动的角偏摆(俯仰不大于10″,偏摆不大于20″)。
4.6设定仪起始参考位置的最大允许误差±1.5μm。
4.7设定仪移动座定位的重复性不大于0.4μm。
4.8设定仪示值最大允许误差±(1.5+L/300)μm(L距离单位:mm)。
5校准条件
5.1环境条件
5.1.1温度:(20±1)℃,温度变化:不大于0.5ºC/h。
5.1.2湿度≤60%RH。
5.1.3仪器室内周围应无影响测量的灰尘、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场。
5.1.4校准前应先将仪器调平。
5.2测量标准及其他设备
校准用的标准器及配套设备(见表1)
表1校准用的标准器及配套设备
序号校准项目主要校准设备
工作面对移动座移动轴线的(70×70)mm四方体(角度偏差±5″)和分度值1″自
1
垂直度准直仪及杠杆千分表
2设定仪工作面的平面度2级平晶
固定座两工作面平行度和移重复性小于0.3μm测量范围(0-25)mm和(25-50)mm
3
动座两工作面平行度的杠杆千分尺。
设定仪在起始参考位置时两
4
外工作面的平行度分度值1″自准直仪或其它符合要求的角度测量器具
5移动座沿导轨移动的角偏摆
设定仪起始参考位置的最大重复性小于0.3μm测量范围(0-25)mm和(25-50)mm
6
允许误差杠杆千分尺和3等(30mm,20mm,9mm,1.1mm)量块
7-6
设定仪移动座定位的重复性0.5×10L激光干涉仪
8-6
设定仪示值最大允许误差0.5×10L激光干涉仪
2
6校准项目和校准方法
6.1外观
目力观察设定仪的外观,确认仪器工作台表面没有毛刺和划痕,有制造厂名(或
商标)和出厂编号等标识。对使用中和修理后的仪器,允许有不影响使用的外观缺陷。
各部分功能正常。
6.2工作面对移动座移动轴线的垂直度
6.2.1在移动座外工作面上研合一块5mm的钢制三等量块,调整自准直仪照准量块工
作面并对准垂直方向读数得读数值a,设定仪移动座上放置四方体,调整其上工作
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