T∕CPIA 0059-2024 晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备.pdf

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2024-07-25 发布于山东
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标题晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备内容详细介绍晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备的工作原理，规格性引用文件及术语和定义，以及技术要求检验方法外观及结构检查基本性能检测等内容总结为晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备用于制造高纯度低压力化学气体沉积材料，具有良好的封装性和抗腐蚀能力概述本篇文档详细介绍了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备的工作原理和应用范围，包括规格性引用文件术语和定义，技术要求，检验方法，外观及结构检查，基本性能检测等方面的内容综合来看，

ICS27.160

CCSL95

体标

团准

T/CPIA0059-2024

晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

LowpressurechemicalvapordepositionequipmentusedforcrystalIine

siIiconphotovoItaicceIIs

2024-03-10发布2024-03-15实施

中国光伏行业协会发布

T/CPIA0059-2024

前言．．．．．．．．．..........................................III

I范围．．．．．．．．．．．．．．......................................1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4工作环境2

5技术要求2

5.1外观及结构要求2

5.2基本性能2

5.3工艺运行自动化控制3

5.4安全要求3

5.5可靠性3

5.6噪声．．．．．．．．．．．．......................................3

5.7电磁兼容性．．．．．．．．．．．．．．．．．..............................3

6检验方法．．．．．．．．．．．．......................................3

6.1检验设备及仪器．．．．．．．．．．．．．．..............................3

6.2外观及结构检查．．．．．．．．．．．．．．........................4

6.3基本性能检测．．．．．．......................................4

6.4工艺运行自动化控制检验．．．．．．．．．..............................6

6.5

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