GB_T 36306-2024 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求.pdfVIP

ICS13.040.35

CCSC70

洁净室及相关受控环境

空气化学污染控制技术要求

2024-03-15发布

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

目次

前言……………………Ⅲ

引言……………………IV

1范围…………………1

2规范性引用文件……………1

3术语和定义………………1

4污染源……………………1

5空气化学污染控制………………………2

6检测与监测………………3

附录A(资料性)洁净室建设材料选用…………………5

附录B(资料性)电子工业洁净室空气化学污染控制系统……………7

附录C(资料性)微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表……9

附录D(资料性)洁净室施工阶段化学物浓度控制措施………………11

参考文献……………………13

I

前言

定起草。

GB/T36306—2018相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了标准适用范围(见第1章，2018年版的第1章);

b)删除了空气分子污染、环境反应监测法、污染物、气相空气净化装置等术语(见2018年版的

3.1、3.2、3.3、3.4);

c)增加了按化学物浓度划分空气洁净度、释出气体等术语(见3.1、3.3);

d)更改了空气化学污染物的定义(见3.2,2018年版的3.5);

4.2);

了确定是否污染及情况、控制措施的内容(见2018年版的6.1、6.2);

6.1,2018年版的5.1、5.2),增加了监测的内容(见6.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。

本文件起草单位：中国电子工程设计院股份有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、中国

电子系统工程第二建设有限公司、中国科学院大气物理研究所、苏州安泰空气技术有限公司、深圳市亿

天净化技术有限公司、天津大学、苏州华泰空气过滤器有限公司、中国标准化协会、滨州裕能电子材料股

份有限公司、北京戴纳实验科技有限公司、烟台宝源净化有限公司、江汉大学、上海市室内环境净化行业

协会、中电精泰电子工程有限公司、丽兹控股有限公司、无锡莱姆顿科技有限公司、仲恺农业工程学院、

黄冈鲁班药业股份有限公司、上海禾益净化设备制造有限公司、佛山市南海东方澳龙制药有限公司、深

圳市中建南方环境股份有限公司。

本文件主要起草人：阎冬、刘俊杰、王奇勋、孙扬、李卫、夏群艳、陈思源、霍金鹏、郝胤博、胡茂从、

吴志坚、耿文韬、王芳、奚晓鹏、丁力行、杨云涛、杨子强、陈锡福、王艳、严斌、裴晶晶、周淑贞、徐宝平、

徐宜彬、张长安、杨立、杨小龙、白冰。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

—2018年首次发布为GB/T36306—2018;

——本次为第一次修订。

Ⅲ

GB/T36306—2024

引言

本文件的空气化学污染