【英语版】国际标准 ISO 20411:2018 EN Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Correction method for saturated intensity in single ion counting dynamic secondary ion mass spectrometry 表面化学分析 二次离子质谱法 单离子计数动态二次离子质谱法中饱和强度的校正方法.pdf

ISO20411:2018ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Correctionmethodforsaturatedintensityinsingleioncountingdynamicsecondaryionmassspectrometry是国际标准化组织（ISO）发布的一项标准，用于表面化学分析中的二次离子质谱法（SIMS）。该标准详细描述了动态二次离子质谱法（SIMS）中单离子计数饱和强度修正的方法。

二次离子质谱法是一种表面分析技术，用于研究固体或液体样品表面的化学组成和结构。在SIMS实验中，离子源产生的离子束被聚焦在样品表面，从而产生二次离子发射。这些二次离子被检测并用于分析样品的化学组成和结构。

该标准中的“饱和强度”是指当离子计数达到一定水平时，继续增加离子束照射样品会导致计数率不再增加的现象。这种现象通常是由于样品表面被轰击损伤或产生背景噪音而导致的。

“单离子计数动态二次离子质谱法”是指一种用于测量和分析SIMS实验中单个离子强度的技术。通过测量单个离子的强度，可以更准确地了解样品的化学组成和结构，因为背景噪音和损伤的影响更小。

该标准提出的修正方法旨在解决在SIMS实验中饱和强度导致的计数误差。该方法包括对饱和强度的估计和相应的修正策略，以减少计数误差并提高分析的准确性。

ISO20411:2018ENSurfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Correctionmethodforsaturatedintensityinsingleioncountingdynamicsecondaryionmassspectrometry是一个非常重要的标准，用于改进SIMS分析中饱和强度引起的误差，以提高实验的准确性和可靠性。