【英语版】国际标准 ISO 22278:2020 EN 精细陶瓷（高级陶瓷、高级技术陶瓷） 使用平行 X 射线束的 XRD 方法测试单晶薄膜（晶片）结晶质量的方法 Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel .pdf

ISO22278:2020是关于高级陶瓷和高级技术陶瓷的国际标准，它规定了使用平行X射线束的XRD方法来测试单晶薄膜（晶片）结晶质量的测试方法。

ISO22278标准详细说明了以下内容：

1.标准范围和定义：该标准规定了用于评估高级陶瓷和高级技术陶瓷中单晶薄膜（晶片）结晶质量的XRD方法的测试方法。

2.测试原理：该方法基于X射线衍射原理，通过分析薄膜（晶片）的晶体结构，评估其结晶质量。测试过程包括样品制备、X射线源、探测器设置、数据采集和分析等步骤。

3.测试设备：该标准详细描述了用于XRD测试的设备，包括X射线源、探测器、样品台、控制系统等，并强调了设备的质量和性能要求。

4.样品准备：该标准规定了样品制备的步骤和要求，包括样品类型、尺寸、表面处理、固定方式等，以确保测试结果的准确性。

5.数据处理和分析：该标准介绍了如何从XRD数据中提取有关结晶质量的信息，包括晶体结构、缺陷、晶粒尺寸等，并提供了数据分析的方法和步骤。

6.质量保证和质量控制：该标准强调了测试过程中的质量保证和质量控制的重要性，包括测试方法的正确性、测试设备的校准和性能检查、测试结果的验证和确认等。

ISO22278:2020标准为评估单晶薄膜（晶片）的结晶质量提供了一种可靠的测试方法，有助于提高陶瓷和高级技术陶瓷的质量和性能。