【英语版】国际标准 ISO 21360-5:2023 EN Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 5: Non-evaporable getter (NEG) vacuum pumps 真空技术—测量真空泵性能的标准方法—第5部分：非挥发式“收集器”(NEG)真空泵.pdf

ISO21360-5:2023EN真空技术——真空泵性能的标准测量方法第5部分：非蒸发式去气剂（NEG）真空泵ISO21360-5是关于真空技术的国际标准，它规定了测量真空泵性能的方法。这部分标准专门针对使用去气剂（getter，简称NEG）的真空泵。

真空泵是一种机械设备，用于从气体环境中抽吸或压缩气体。它们在许多领域都有应用，包括科研、电子制造、半导体制造等。真空泵的性能，即它们能够达到的最低气压，是评估其效率的关键指标。

在ISO21360-5中，对于非蒸发式NEG真空泵的描述主要包括以下几个方面：

1.**去气剂的作用**：去气剂是一种能够与气体分子发生化学反应的物质，目的是清除真空泵内部残留的气体分子，从而提高泵的极限压力（即其能够达到的最小气压）。

2.**测试流程**：在测试非蒸发式NEG真空泵的性能时，通常会进行一系列步骤，包括启动和关闭泵，测量初始和最终的压力，以及在某些时间点测量中间的压力。通过这些测量，可以评估泵的效率和性能。

3.**性能评估**：根据ISO21360-5的规定，真空泵的性能可以通过其极限压力、初始压力、最终压力以及抽气速率等指标来评估。这些指标反映了泵的效率、可靠性以及能够处理的气体种类。

ISO21360-5标准为评估和使用非蒸发式NEG真空泵提供了详细的指南和标准方法。这对于理解真空泵的性能，以及在相关应用中选择合适的