【英语版】国际标准 ISO 22415:2019 EN 表面化学分析 二次离子质谱法 确定有机材料氩簇溅射深度剖面的产气量的方法 Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for determining yield volume in argon cluster sputter depth profiling of organic materials.pdf

ISO22415:2019EN表面化学分析—二次离子质谱法—用于有机材料在氩离子簇溅射深度剖面中产额体积的测定方法

二次离子质谱法（SIMS）是一种用于表面化学分析的技术，它通过向样品发射高能离子并测量产生的二次离子来研究物质的化学组成和结构。这种方法可以提供高分辨率的表面化学信息，特别是在纳米尺度上。

在有机材料的深度剖面分析中，氩离子簇溅射是一种常用的技术，它可以通过向样品发射氩离子并控制溅射条件来研究物质的表面结构和化学组成。通过测量不同溅射条件下有机材料的产额体积（即被溅射的有机物质量），可以获得有机材料的组成和结构信息，从而了解其在不同深度下的变化。

ISO22415:2019标准详细描述了二次离子质谱法用于测定有机材料在氩离子簇溅射深度剖面中产额体积的方法，包括实验设计、样品准备、离子源和检测器的选择、实验条件优化、数据分析和结果解释等方面的内容。该标准还提供了实验过程中可能遇到的问题和解决方法，以及相关的质量控制和数据可靠性保证等方面的建议。

ISO22415:2019标准为使用二次离子质谱法进行有机材料表面化学分析提供了详细的指导和方法，有助于提高实验的准确性和可靠性。