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半导体设备知识讲解2021PECVD原理
1PECVD简介PECVD:PlasmaEnhanced-CVD,等离子体化学气相沉积;PECVD技术是在低气压下,利用低温等离子体在工艺腔体的阴极上(即样品放置的托盘)产生辉光放电,利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度,然后通入适量的工艺气体,这些气体经一系列化学反应和等离子体反应,最终在样品表面形成固态薄膜。
2等离子体概论物质除了具有固态、液态、气态,还有具更高能量的等离子态,即物质的第四态。等离子体是大量自由电子和离子组成的、整体上近似电中性的物质状态。获得方法:加热、燃烧、激光照射、冲击波、辉光放电辉光放电等离子体:两极间加上电压时,阴极发射出的电子在电场被加速获得能量,与反应室中的气体原子或分子碰撞,使其分解、激发或电离,这一方面产生辉光,另一方面在反应室中形成很多电子、离子、活性基团以及亚稳的原子和分子等,在一定的区域中,粒子所带的正的和负的总电荷相等,是一种等离子体。
3CVD化学气相沉积成膜过程
4化学气相沉积的应用
5PECVD组成及功能电源发生器系统(13.56MHz)反应箱系统(正负极板)尾气处理系统(焚烧与喷淋)气体输运系统(气瓶与管道)真空系统(真空泵组合)
5PECVD组成及功能1、电源发生器系统:为产生Plasma的电子源,在两个极板之间产生一定频率的电子,将由气体输运系统送入真空室的各种气体电离;如SiH4+e-→SiH3++2e-2、气体输运系统:将反应气体通过一系列的管道、阀门、MFC(流量控制器)等送入到真空室中;3、反应室系统:将送入的气体如SiH4、H2等电离后,通过扩散、成核、凝聚等过程,逐渐在导电玻璃基板上形成连续的薄膜;
5PECVD组成及功能4、尾气处理系统:在反应过程中,会产生一些反应的副产物,而这些副产物并不能参与成膜,只能通过工艺泵浦抽走,通过焚烧及喷淋后,再排入到大气中去。5、真空系统:该成膜系统是在一定的真空度下完成的,因此,需要将真空室内的存留的空气通过真空泵浦如机械泵、鲁氏泵及扩散泵浦等将室内的空气抽除,使室内处于真空状态并维持该本底真空度及工作真空度;
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