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在晶体生长通过融化物中加入一个已知道数量掺杂in crystal growth.pdf

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在晶体生长中,在生长的晶体中通过在融化物中加入一个已经知道数量的掺杂

物来得到想得到的杂质浓度。不纯的杂质原子像硼或者磷可以加精确的量到融

化的本征硅中来给硅掺杂,并因此使它成为n型或者p型的非本征硅。当一

个晶体从融化状态中提取出来时,在边界上混合到晶体(固体)中的杂质浓度

通常和融化时(液体)的杂质浓度不一样。这两种浓度的比例被定义为平衡分

凝系数()其中和分别是在固体和液体中边界处的杂质平衡浓

度。对于通常对硅使用的杂质来说,的值小于1,这意味着在生长过程中有

杂质又回到了融化物中。因此,融化物中的杂质随着晶体生长渐渐地富集。

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