【英语版】国际标准 ISO 25178-603:2013 EN 产品几何规范 (GPS) 表面纹理：第 603 部分：非接触（移相干涉显微镜）仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instrument.pdf

ISO25178-603:2013EN几何产品规范（GPS）—表面粗糙度：面积—第603部分：非接触式（相位差干涉显微镜）仪器的标称特性

ISO25178是一系列的地理标志和食品标识标准，旨在提供统一的标准和指导原则，以保护消费者的权益并促进贸易。其中的ISO25178-603是一个关于表面粗糙度的标准，特别关注的是非接触式相位差干涉显微镜（NPDIM）的使用和测量方法。以下是ISO25178-603标准的详细解释：

*“非接触式相位差干涉显微镜（NPDIM）”是一种光学仪器，用于测量物体表面的粗糙度。其原理是基于光的干涉现象，通过比较测量表面的干涉图样与预设的标准图样来确定表面的粗糙度。

*“标称特性”是指仪器的主要性能指标和规格，包括但不限于分辨率、测量范围、精度、稳定性等。这些特性通常在仪器的规格书中明确规定，并在使用前进行验证和校准。

*“非接触”意味着仪器不会与测量表面直接接触，从而避免了可能对表面造成的损伤或污染。

*“相位差干涉”是一种光学技术，通过比较两个或多个波前之间的相位差异来产生干涉图样。在NPDIM中，干涉图样用于确定表面的粗糙度。

*“仪器”是指用于测量表面粗糙度的整个系统，包括光源、干涉仪、探测器、数据处理软件等。

ISO25178-603标准规定了非接触式相位差干涉显微镜的标称特性，为使用这种仪器进行表面粗糙度测量提供了指导和规范。这些规范对于保护消费者权益、促进贸易和确保测量结果的准确性和可靠性非常重要。

请注意，ISO标准是一个全球性的组织，其成员包括许多国家和地区的政府机构、标准化机构、制造商和消费者组织等。这些组织在制定和推广ISO标准时，通常会考虑到各种利益相关方的需求和意见。因此，如果您在使用ISO标准时遇到任何问题或疑虑，建议您查阅相关的官方文档或咨询相关的专业机构或专家。